衡陞科技於2006年7月在台北成立. 其成立目的在於提供台灣以及中國奈米等級的量測概念以及方法。當時衡陞科技提供65nm以下的分析數據以及技術支援給半導體以及學術界。但根據摩爾定律以及半導體發展藍圖，當製程精進至65nm以下，以目前的方法去做數據的量測和分析會變得更為困難。 因此衡陞科技於2008年開始投資奈米探針的研究和製造事業，並於2010年，衡陞科技成功開始提供台灣以及中國50nm探針。 基於衡陞科技發展計畫以及客戶的需求，2011年成功研發發出35nm探針，現已被UMC、德州儀器、中芯國際等客戶認證用於28、32nm元件故障分析使用。 2012年成功開發出20nm探針，現已並被半導體技術領導者認可用於14nm製程元件故障分析。 2013年成功開發出10nm以及5nm探針，現已被驗證並導入Intel、Samsung、以及TSMC等公司用於最先進製程元件故障分析使用。 截至2017年，衡陞成功開發出最先進探針可用於未來4~8年的故障分析需求。 衡陞科技是世界上，奈米探針以及非傳統探針的領先設計者及製造工廠。目前主要來往客戶為 Intel、TSMC、Samsung、Global Foundry、UMC、AMD、Texas Instruments...等。 並於2013年之後陸續和FEI、Kleindiek、Bruker等世界知名故障分析廠合作。 2012年，對衡陞科技來說是非常重要的一年，除奈米探針有突破性的發展外，並和國家奈米實驗室合作開發的RRAM計畫有傑出的研究成果。 根據衡陞科技的設計概念，對於記憶體的設計提供一個全新的選擇，其報告已於2012年的IEDM發表。 衡陞科技將繼續抱持者R.P.I的精神(Reliable可靠、Precise精確、Improving改善)去服務全世界的客戶並提供完美的產品以及顧問。